1 高頻感應等離子體發生器 又稱高頻等離子體炬，或稱射頻等離子體炬。它利用無電極的感應耦合，把高頻電源的能量輸入到連續的氣流中進行高頻放電。

2 電弧等離子體發生器 又稱電弧等離子體炬，或稱等離子體噴槍，有時也稱電弧加熱器。它是一種能夠產生定向“低溫”（約 2000～20000開）等離子體射流的放電裝置。

3 低氣壓等離子體發生器 一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產生等離子體的電源、放電室、抽真空系統和工作氣（或反應氣）供給系統。

通常有四類：靜態放電裝置、高壓電暈放電裝置、高頻（射頻）放電裝置和微波放電裝置。