真空等離子處理大部分材料的時候，溫度其實是不高的，不過也有部分情況，比如真空等離子清洗機用來去膠渣，或者處理難以解決的石墨材料，溫度就會變得很高。

去膠渣需要用中頻電源，功率大，能量猛，真空腔里面的離子不斷轟擊電極板，真空腔里面的溫度會直接上升。這種時候需要給真空腔里面加水冷。

另外像石墨這種類型的材料，處理起來比較艱難，為了達到理想的處理效果，處理一次甚至要達到30分鐘以上，等離子清洗機由于長時間的工作，里面的溫度也會變得很高，這種情況下也需要加水冷。

等離子清洗機真空腔里面的溫度過度會引發很多的問題，真空腔里面如果不加水冷溫度會高到幾百度，不僅損壞處理的材料，會使處理的材料變形變色，而且對機器也有不良的影響。如果不帶隔熱手套，手就會被燙傷。那么，等離子清洗機具體是怎么解決高溫的問題呢？首先需要了解一下等離子清洗機的整個工作過程。

真空等離子清洗機整個清洗的過程是這樣的，首先把需要清洗的材料放置在真空腔里面，關上真空腔體門，抽真空到20~100pa，通入反應氣體，如氬氣或者氮氣等，電源放電把這些氣體分子激發打碎變成等離子，等離子受到電源激發的作用高速運轉，快速的轟擊材料表面。材料處理完成后，通入壓縮空氣或者氮 氣，破真空，把材料取出來進行下一道工藝

如果等離子清洗機用的是射頻電源而且處理的時候不長，大部分材料都在5分鐘左右，甚至更短，那么就不會出現溫度過高的問題，但是刻蝕去膠渣，這種工藝要有的中頻電源，就不一樣，中頻電源頻率40KHZ，比13.56MHZ的射頻電源頻率慢，電源脈沖的頻率慢就意味著能量猛，會導致真空腔體內的溫度升高。另外還有就是處理的時間很長，有些材料一次處理就要半小時以上，哪怕用的是射頻電源，也要加水冷。

那么溫度過高的問題具體怎么解決呢？這里就來給大家一起水冷在等離子清洗機上面具體有哪些運用

真空腔體和電極板的冷卻

真空腔體和電極板是主要需要降溫的部件，這些部件上面都會安裝溫度傳感器，時時監控真空腔里面的溫度，如果溫度過高，就會立即報警停機。

真空等離子清洗機的反應腔室本體一般都是鋁或不銹鋼的材質，電極板基本上采用鋁合金，這兩部分在等離子體處理產品的時候吸收了大量的熱，不加任何配套設施的情況下，就會以傳導的方式和熱射線的形式散發給周圍溫度較低的物體，例如機臺緊固件、外殼和低溫空氣中。

改善措施：給電極和反應腔室增加冷卻系統，例如電極采取蛇形管貼附或者中通冰水的方式，可以大大改善散熱效果。

等離子電源的冷卻

等離子電源是整臺機器的核心部件，小型的機器功率小，熱量也比較低，但是大型功率高的電源就需要進行降溫處理。平時應用場景中，大部分的電源是不用降溫的，如果需要降溫一般使用風冷，小部分特別的機器需要用到水冷的辦法進行降溫。

真空泵的冷卻

真空泵有油泵和干泵，油泵有油可以進行冷卻，干泵在使用的時候，機器結構摩擦會產生很高的溫度，如果不進行冷卻就會導致干泵損壞。干泵降溫通常使用水冷卻，在真空泵設計的時候，就會設計好。等離子清洗機的真空泵大多從真空泵廠家采購，所以如果真空泵散熱出了問題肯定第一時間找到真空泵廠家

等離子清洗機的冷卻水來源通常有兩個，分別為冷水機供給和用戶端循環水供給。關于大型等離子清洗機主張配單獨的冷水機，以便保護。

等離子清洗機的冷卻水的溫度一般控制在20-50℃，依據實踐需要進行調整;壓力一般在0.3-0.5MPa;流量一般在2～7 SLM。不過在實際的運行工作中，每個機器的數據會有所不同，這個在機器設計的時候，都會設計好相應的參數

現在等離子清洗機真空腔上面都會安裝溫度傳感器，對機器的溫度實時監測，溫度異常會自動報警，機器啟動后，冷卻系統自動運行。