等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。
等離子清洗機的耗材幾乎是沒有的
主要的損耗在真空泵維護方面，真空泵需要定期加油，更換過濾芯等。
如果清洗的產品需要用到反應氣體的話，那么氣體也算等離子清洗機耗材之一。但是不是所有的工藝都會用到氣體，如果客戶選用干泵，非油泵，那也沒什么損橇了。
這些基本上是三個月一觀察，根據情況去補充的，其它機體密封性什么的，都是一年半載，依觀察老化情況決定是否更換。
總體來說，基于水加溶劑的傳統清洗方法，盡管看起來便宜，但需要耗費大量的能源和環境為代價。這種方法的干燥過程非常緩慢，還需要消耗大量的能源。等離子體清洗技術消除了采用濕化學方法清洗中存在的各種危險，在清洗過程中也沒有廢液產生，傳統清洗技術中所使用的化學試劑會對環境造成很大的危害，等離子體輔助清洗是一種能有效替代化學清洗的技術，是一種環境友好型的清洗技術，既安全又環保。而且等離子清洗機耗材跟傳統清洗方法相比簡直就是微乎其微。
等離子體清洗技術目前已經被廣泛應用在金屬、聚合物和陶瓷表面的清洗處理，對混合電路和印刷電路板表面殘留金屬物的去除，生物醫學植入材料表面的消毒和清洗，硅晶片表面的清洗和考古文物的修復清洗等領域。