1、等離子清洗機(jī)不發(fā)光

??可能原因：1真空泵是否正常運(yùn)行；2、射頻電源主板燒壞；

??處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達(dá)到正常壓力值；如不能達(dá)到正常壓強(qiáng)，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好。

?2、打開設(shè)備右側(cè)面板，檢查射頻電源主板綠色燈在設(shè)備正常運(yùn)行下是否亮，如果不亮，請聯(lián)系東信高科售后人員進(jìn)行更換。

2、真空泵不工作

??可能原因：1、真空泵油不足；2、電機(jī)燒壞；3、真空泵磨損

??處理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、請聯(lián)系我公司客服

3、清洗效果不良

??可能原因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應(yīng)氣體

??解決措施1、調(diào)節(jié)功率旋鈕，提高功率；2、工藝氣體是否匹配合理；3、咨詢我公司客服；

4、真空泵熱過載保護(hù)，請檢查線路和真空泵故障

??出現(xiàn)此情況請首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無變化，設(shè)備突然斷電會引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類報(bào)警。

??如系統(tǒng)參數(shù)無變化，請確認(rèn)熱繼電器是否自動保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒有自動保護(hù)，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。

??檢查導(dǎo)線是否有斷路或短路情況。

??如無上述異常，請檢查真空泵。

5、放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

??如出現(xiàn)此類報(bào)警請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路。

6、真空泵倒計(jì)時故障（機(jī)械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點(diǎn)擊復(fù)位鍵

??所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況，真空倒計(jì)時時間設(shè)備較短，無法在設(shè)備時間內(nèi)抽到背底真空。

??檢查真空門是否關(guān)到位

??逐級檢查真空系統(tǒng)中各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞

??真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵。

7、真空計(jì)故障報(bào)警，真空計(jì)故障或損壞，請檢查并更換真空計(jì)

??檢查真空計(jì)是否損壞，檢查真空計(jì)控制線路是否有斷路或短路。

8、急停未復(fù)位或已按下，請打開急停開關(guān)

??檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路。

9、 CDA壓力過低報(bào)警（破空氣體壓力低）

??此報(bào)警為壓縮空氣氣壓不足夠報(bào)警，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設(shè)備，出現(xiàn)此報(bào)警時需檢查CDA是否正常供氣至設(shè)備端。

??確認(rèn)供氣壓力是否過高或過低，減壓表的報(bào)警值是否設(shè)定正確。

??檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路。

?