產品介紹

大型真空等離子清洗機產品參數：

大型等離子清洗機產品介紹：

大型等離子清洗機具有超大型真空處理腔室，適合大尺寸產品批次處理。等離子清洗機工作原理：在壓力到達設定壓力時，充入工藝氣體，當腔內壓力進出動態平衡時，利用等離子電源產生的中高頻交變電磁場激發生成等離子體，對被清洗工件表面進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到清洗目的。

大型真空等離子清洗機的工作流程如下：

(1) 打開艙門，將待清洗零件放置在支架上；

(2) 關好艙門，檢查真空系統是否已經全部密封，隨后啟動機械泵開始對反應腔體抽氣，使真空度低于 50Pa ；

(3) 按工藝要求即需要清除的污染物類型，選擇相關氣體種類具體可參照第二章 第四小節、根據抽氣速度設定充氣流量，并開始充氣；

(4) 等到反應腔體內部的壓強穩定后，輸入輸出功率打開射頻電源，通過石英窗 可以觀察到腔體內部開始產生等離子體后開始計時；

(5) 清洗時間到，關閉射頻電源，關閉真空泵，放氣，待腔體內部氣壓恢復到大氣壓后打開艙門取出零件。