等離子體的顏色

能量活躍激發態的原子、離子或者分子向下能級躍發出光，從而形成等離子體的顏色因為每種氣體中的能級均具有不同的能量轉換，每種工藝氣體顯示了不同特點的發光，并因此產生不同特征的顏色。經常在等離子清洗工藝流程中使用的氣體的典型顏色如下所述：

CF4：藍色?
SF6：淡藍色?
SiF4：淺藍色?
SiCl4：淺藍色?
Cl2：淺綠色?
CCl4：淺綠色?
H2：粉紅色?
O2：淡黃色?
N2：紅色至黃色?
Br2：紅色?
He：紅色至紫色?
Ne：磚紅色?
Ar：暗紅色

等離子清洗機的輝光顏色不僅僅可用于識別工藝氣體，還可以用于定性評估工藝氣體是否不含污染物。