等離子清洗機的作用針對不同的產品有不同的作用，不過也無外乎以下幾種：

等離子表面活化/蝕刻；等離子表面灰化/改性；提高材料表面的浸潤能力；增強材料表面的邦定性；去除材料表面的有機污染物、油脂或油污。

等離子清洗機的作用原理：

（A）對材料表面的刻蝕作用

物理作用 等離子體中的大量離子、激収態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（B）激活鍵能，交聯作用

等離子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基中的這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團

化學作用如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。