經濟的發展，人們的生活水平不斷提高，對消費品的質量要求也越來越高，真空等離子清洗機隨之逐步進入生活消費品生產行業中；另外，科技的不斷發展，各種技術問題的不斷提出，新材料的不斷涌現，越來越多的科研機構已認識到等離子技術的重要性，并投入大量資金進行技術攻關，等離子技術在其中發揮了非常大的作用。我們深信等離子技術應用范圍會越來越廣；技術的成熟，成本的降低，其應用也就更加普及。

真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔休、機械等幾個部分組成，可以根據客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統，真空室。容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。

真空等離子清洗機是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質，等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置。廣泛應用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應用于汽車電子領域、軍工電子領域、PCB制成行業等高精密度領域。

真空等離子清洗機通過兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光，等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，達到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機物，以及其它化學物質，從而達到表面處理、清洗和刻蝕效果，經過等離子處理工藝可以實現有選擇的表面改性。

真空等離子清洗機運行過程如下：

1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定， 啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內的真空程度達到10 Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要 2 min。?

2 ）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100 Pa。 根據清洗材質的不同，可分別選用氧氣、氫 氣、氬氣或氮氣等氣體。?

3 ）在真空室內的電極與接地裝置之間施加 高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發 生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件，開始清洗作業。一 般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。

4 ）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及氣化的污垢排出，同時向真空室內鼓入空氣，并使氣壓升至一個大氣壓.