產品介紹

產品參數：

基本構造：

根據用途的不同，可選用多種構造的等離子清洗設備，并可通過選用不同種類的氣體，調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現最佳化。 但等離子體清洗裝置的基本結構大致是相同的， 一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電 極、氣體導入系統、工件傳送系統和控制系統等 部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵，高頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。

等離子清洗機工作原理：

等離子清洗是依靠特定物質等離子體中的高 能粒子流沖擊需要清潔的物體表面，產生物理沖擊（如氬等離子體）或化學反應（氧等離子體）來實 現去除物體表面污漬的功能。目前，大多數等離子 清洗系統通過降低反應倉的壓力到 100 Pa 以下， 然后以一定的速度通入合適的氣體并啟動電源來獲得等離子體。