引線框架作為集成電路的芯片載體，借助于鍵合材料(金絲、鋁絲、銅絲)實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接，是形成電氣回路的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件，它起到了和外部導(dǎo)線連接的橋梁作用，絕大部分的半導(dǎo)體集成塊中都需要使用銅引線框架。引線框架表面電鍍金屬層后，一般與環(huán)氧模塑料(EMC)粘接。目前，在引線框架電鍍銅層的表面封膠時(shí)，由于電鍍銅層表面光滑，粘接強(qiáng)度不高，造成銅表面與膠粘接不牢固而脫膠，而如果電鍍銅層表面變得凹凸無序，在凹坑后容易殘留空氣和雜質(zhì)，產(chǎn)生氣泡，形成應(yīng)力集中，也會(huì)造成粘接強(qiáng)度下降，因此，為了增加引線框架電鍍銅層與封膠之間的粘接強(qiáng)度，對(duì)于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的公司，封裝前把銅支架表面的污染物清洗干凈是必要的一環(huán)

清洗引線框架表面污染物目前主流的采用等離子處理，等離子體處理可達(dá)到引線框架表面超凈化和活化的效果，成品良率比傳統(tǒng)的濕法清洗會(huì)極大的提高，并且沒有污染物的產(chǎn)生，不用加什么化學(xué)清洗藥劑，成本低，又環(huán)保，是目前主流的污染物表面處理方式

由于當(dāng)前大氣常壓等離子清洗機(jī)對(duì)銅引線框架的處理工藝尚未在處理溫度、氧化及二次污染等方面取得突破，因此，在目前銅支架的等離子表面處理中，所使用的等離子處理設(shè)備還是以低壓真空型等離子清洗機(jī)為主。根據(jù)處理形式、電極結(jié)構(gòu)以及放電特性，處理銅支架的真空等離子清洗設(shè)備又分為料盒式（批量式、獨(dú)立式、離線式）等離子清洗機(jī)和在線式（連線式、連續(xù)式）等離子清洗機(jī)。

從產(chǎn)能上面來說，離線式真空的機(jī)器比在線式的機(jī)器產(chǎn)能要大很多，離線式真空等離子清洗機(jī)是以料盒的形式，每次一個(gè)一個(gè)的料盒放進(jìn)去，大批量進(jìn)行清洗。離線式真空等離子清洗機(jī)的真空腔體可以根據(jù)需要做的很大，一次可以同時(shí)清洗很多的銅支架。在線式真空清洗機(jī)是一片或者幾片，連續(xù)不斷的進(jìn)行清洗。其優(yōu)勢是清洗的更加徹底，但是產(chǎn)能受限，只有一些對(duì)清洗效果要求特別嚴(yán)格但是產(chǎn)能要求不高的行業(yè)會(huì)用到在線式真空清洗機(jī)。

在線式真空等離子雖然也可以做大腔體，不過成本擺在那里，同樣以30萬的成本來計(jì)算，離線式真空等離子清洗機(jī)比在線式真空等離子清洗機(jī)的產(chǎn)能大上好幾倍，這也是目前行業(yè)里面多數(shù)都采用離線式真空來清洗銅支架的主要原因。離線式真空等離子清洗機(jī)調(diào)好清洗工藝，具體清洗效果也都可以達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)

在線式和離線式真空等離子清洗機(jī)都是定做的機(jī)器，具體根據(jù)客戶的清洗需求和產(chǎn)能定做。不管是在線式真空等離子還是離線式的真空等離子清洗機(jī)，東信都有定做的案例，歡迎咨詢考察或者發(fā)樣品過來做測試！